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vatvalve蝶形控制閥

更新時間:2024-12-07

簡要描述:

vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAH-0001
快速且精準的壓力控制

型號:61328-KAAH-0001點擊量:751

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vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAH-0001

真空和氣體流的高精度控制和隔離在半導體制造中是至關重要的。在上游和下游過程中,所有的閥門功能必須保證在大量的循環(huán)中具有精確的重復性。其結果是:在規(guī)定的時間間隔內精確的體積流量和一致的、可靠的密封。VAT控制和隔離閥在此設定了標準。

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技術參數:

尺寸

DN 25 (1")

驅動器

步進電機

材料

法蘭

ISO-KF

控制器配置

SPS

控制器接口+感應器

RS232接口/2個感應器

低壓力

1 × 10-8 mbar

最高壓力

1.2 bar (abs)

泄漏率

1 × 10-9 ls-1

循環(huán)直到第一次維修

2 000 000

最高溫度閥體

≤ 150 °C

密封

FKM

閘門上的壓差

≤ 1 bar

典型的關閉或開放時間

90 ms

最小可控電導率(N2分子流)

0.15 ls-1

最大電導率(N2分子流)

22 ls-1

重量

2.2 kg / 4.85 lbs

vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAH-0001

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